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实验室气路不锈钢半自动切换装置_316L低泄漏_吹扫功能_南京科沃

时间:2025-10-31 17:52:01 来源:本站 点击:51次

在痕量分析、半导体研发等依赖高纯气体的实验室场景中,气路不锈钢半自动切换装置是保障连续供气与气体纯度的关键设备。专业厂家会针对“高纯传输”与“操作便捷性”双需求,打造适配性方案,其技术设计聚焦三大核心维度。

材质与洁净度控制是首要考量:主体采用316L不锈钢锻造,管路内壁经电解抛光处理(粗糙度Ra≤0.1μm),减少杂质吸附位点。所有与气体接触的密封件选用PCTFE或PTFE材质,经脱脂脱气处理后装配于Class 100洁净车间,避免污染气源。某半导体实验室采用这类装置后,高纯氩气传输纯度始终保持99.9995%以上,满足光刻工艺要求。

压力调节与切换性能直接影响实验稳定性:通过二级减压设计实现输出压力精准控制,初级减压将30MPa高压降至1-1.5MPa,二级减压稳定至0.2-0.5MPa,压力波动可控制在±1PSIG以内。切换机制采用压力差触发,当主供气瓶压力降至200psi预设值时,手动转动控制手柄即可切换至备用瓶,切换过程中压力中断时间<0.5秒,且支持2-6个钢瓶扩展连接。
安全与纯度冗余设计必不可少:标配内置吹扫功能,切换前通过惰性气体吹扫管路死体积,防止不同气体混合污染;全系统泄漏率≤1×10⁻⁸ mbar·L/s He,经氦质谱检漏仪逐台检测合格后方可出厂。部分厂家还提供可选电接点压力表,当压力异常时触发声光报警,提醒及时更换钢瓶。


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